一、精密五金加工

精密五金加工精度以纳米，以至最后以原子单位为目的时，超精密零件切削加工办法已不能顺应，必要借助特种精密五金加工的办法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等。使这些能量超越原子间的结合能，从而去除工件表面的局部原子间的附着、结合或晶格变形，以到达超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。

二、精密五金切削加工

主要有精密车削、镜面磨削和研磨等，在精密车床上用经过精密研磨的单晶金刚石车刀进行微量车削，切削厚度仅1微米左右。常用于加工有色金属资料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、表面高度光亮的零件。